群狼环伺笔趣阁Np(高H 1V1)
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最近更新：第2263章:祸水txt三泡台 对于亚微米级特征尺寸的集成电路，普通的光学显微镜已经力有不逮，要使用测量型比长仪。在各种科研活动中，像比长仪这样的高精度测量仪器是必不可少的，又比如激光干涉仪，这是光刻机研发所需的基础工具，所以他们研究所一开始就设立了研发各种测量仪器的实验室，几年下来成果斐然。如今，他们的测量仪器不仅自己用，还提供给了很多科研单位，帮了兄弟单位不少忙。而测量型比长仪，跟投影式光刻机是同一时间立的项，历经两年，在去年年底才完成了研发工作。值得一提的是，比长仪也分不同类型的，早期的是传统光学比长仪，但其高度依赖人工操作，测量精度还是微米级别，显然不可能测量亚微米级别的尺寸。于是立项之初，徐卫国就直接瞄准了更先进的激光比长仪，其测量精度可达纳米级。只是，这项技术是要以激光干涉仪技术为前提的，而立项之初，激光干涉仪还没搞出来呢！徐卫国只能一边指导团队成员先进行预研，攻克一些边缘性的技术，一边亲自下场加快激光干涉仪的研发。直到一年半前激光干涉仪搞出来，激光比长仪的研发才进入快车道。但即使如此，研发过程也很艰难，在徐卫国的帮助下还是花了这么久，其复杂度可见一斑。徐卫国拿......
更新时间：2026-08-01 14:38:14
